| nanotom m | nanotom s | ndt|analyser s | pcba|inspector | v|tome|x m | v|tome|x s | |
|---|---|---|---|---|---|---|
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| max. Auflösung (abhängig von der Probengröße) | 0,3 µ (3D) | <0,5µ (3D) | <1µ (2D) | <2µ (2D) | 2µ (mikrofokus), < 1µ (nanofocus) | 4µm (3D) |
| max. Probengröße (Höhe x Durchmesser) | 250 x 240 mm | 150 x 120 mm | ca. 400 x 300 mm | 400 x 100mm | 600 x 500 mm | ca. 300 x 250mm |
| 2D Röntgendurchstrahlung | nein | nein | ja | ja | nein | ja |
| 3D-Computertomographie | ja | ja | ja (optional) | nein | ja | ja |
| geometrierichtige Oberflächenextraktion | ja (optional) | ja (optional) | ja (optional) | nein | ja (optional) | ja (optional) |
| CAD-Vergleich + dimensionelles Messen | ja (optional) | ja (optional) | ja (optional) | nein | ja (optional) | ja (optional) |
| max. Röhrenspannung | 180 kV | 180kV | 240kV | 130kV | 300 kV | 240kV |
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