| microme|x | pcba|inspector | x|aminer | |
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| max. Durchlichtfläche | 610 x 560mm | 610 x 457mm | 410 x 410 mm |
| Echtzeit Detektorauflösung | 2 MPixel plus 24" Monitor | 848 x 480Pixel | 2 MPixel plus 24" Monitor |
| max. Röhrenspannung | 180kV | 130kV | 160 kV |
| automatische multi-Voiding Calculation Inspektion | ja (optional) | ja (optional) | ja (optional) |
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